Transistoren unter sich: Wie eine Intel-CPU entsteht - Vom Sand zum Silizium-Chip

[08/07/2009] Ätzen (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Die jetzt freigelegten Bereiche werden mittels Säure weggeätzt. Die unbelichteten Bereiche werden dagegen durch den Fotolack geschützt.