Transistoren unter sich: Wie eine Intel-CPU entsteht - Vom Sand zum Silizium-Chip

[08/07/2009] Lösen des Fotolackes (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Durch die Belichtung wurden einzelne Stellen des Fotolackes löslich, so dass sie jetzt mit einem speziellen Lösungsmittel weggespült werden können. Zurück bleibt das Muster der Belichtungsmaske.