Transistoren unter sich: Wie eine Intel-CPU entsteht - Vom Sand zum Silizium-Chip

[08/07/2009] Entfernen des Fotolackes (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Nun wird auch der verbleibende Fotolack entfernt und damit ein Silizium-Strukturen freigelegt, die das Muster der Belichtungsmaske wiederspiegeln.