Transistoren unter sich: Wie eine Intel-CPU entsteht - Vom Sand zum Silizium-Chip

[08/07/2009] Polieren (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Das überschüssige Material wird durch polieren entfernt. Zurück bleiben die mit Kupfer ausgefüllten Löcher in der Isolierschicht - die Kontakte des Transistors.