[08/07/2009] Auftragen von Fotolack (Maßstab: Waferformat, ~300mm): Auf den Wafer wird eine Flüssigkeit aufgetragen, deren chemische Eigenschaften denen eines Films für die analoge Fotographie ähneln. Wärend des Auftragens rotiert der Wafer, um eine sehr dünne und gleichmäßige Schicht zu ermöglichen.