CPU-Fertigung bei Globalfoundries: Bilder aus dem Reinraum - Update: PCGH im Reinraum
Globalfoundries, die ehemalige Fabrikensparte von AMD, produziert seit mehr als einem Jahrzehnt Mikroprozessoren in Dresden. PC Games Hardware wirft einen Blick in das Heiligtum der CPU-Fertigung: den Reinraum.
Original-Artikel: 19.05.2009
Seit AMDs Umstrukturierung und der Ausgründung der Halbleiter-Fabriken AMD Saxony gibt es mit Globalfoundries einen neuen Player im Bereich der Mikroprozessor-Fertigung. In Dresden sitzt die Fab 1 mit den Fertigungsstätten Modul 1 (vorher: Fab 36) und Modul 2 (vorher: Fab 38).
Im Modul 1, dem ersten Werk von Globalfoundries für 300-mm-Wafer, werden AMD-CPUs in 45 und 65 Nanometern Strukturbreite gefertigt. Die ersten Vorbereitungen für die 32-nm-Produktion sind bereits im Gange. Modul 2 wird aktuell in ein 300-mm-Werk umgerüstet; erste Geräte wurden bereits installiert. Ende 2009 soll die Fertigung hochgefahren werden.
Rund 2.600 Ingenieure, Techniker und Spezialisten arbeiten am Dresdner Standort. Die Grundfläche beträgt ca. 365.000 Quadratmeter, die Reinraumfläche von Modul 1 allein 14.500 Quadratmeter. Die Reinraumfläche von Modul 2 beläuft sich auf 16.700 Quadratmeter, das Bump Test Facility für die Vorbereitung der Wafer auf die Endmontage am Standort hat noch einmal 10.300 Quadratmeter. Im Reinraum arbeiten die Mitarbeiter in spezieller Schutzkleidung, um möglichst wenig ungewollte Partikel und Verschmutzungen in den empfindlichen Arbeitsbereich einzuschleusen. Auch die Vorkehrungen für Luftfilterung und die Aufbereitung von Wasser für die Waver-Behandlung sind immens hoch. Mehr dazu erfahren Sie im Artikel PCGH-Retro: Prozessorfertigung bei AMD anno 2003. Wer sich im Detail für Reinräume interessiert, dem sei Wikipedia ans Herz gelegt.
Im Folgenden zeigen wir Ihnen sensible Bereiche der Fab 1 von Globalfoundries: Von der Photo-Lithographie über die Module Films, Etch, Polishing und Plating bis hin zur Qualitätskontrolle und den Transportsystemen. Viel Spaß beim Blick in die heiligen Hallen der CPU-Fertigung.
Update: 13.11.2009
Am 5.11. war PCGH-Redakteur Henner Schröder zusammen mit einer Handvoll weiterer Journalisten aus aller Welt in der Dresdner "Fab 1" von Globalfoundries. Zum ersten Mal war es möglich, eine Führung durch den Reinraum im Fab-Modul 1 zu erhalten, der ehemaligen AMD-Fab 36, in der vor allem 45-nm-CPUs für AMD gefertigt werden. Dabei durften die Besucher weder eigene Fotos noch Notizen machen, es gab nur eine von Globalfoundries gestellte Kamera für alle. Daher zeigen die folgenden Bilder zwar nicht alle Schritte der Produktion, sind aber eine willkommene und vor allem aktuelle Ergänzung zum ursprünglichen Artikel.
Bildergalerie
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Frauen sind definitiv nicht "zu dumm", aber deren Interessen liegen eher in "sozialeren" Berufen (z.B. Handel)
Das war der Hammer und ich mochte diesen Job und würde ihn sofort wieder machen.
Nur... mal eben eine Rauchen gehen, dauert mal eben 30 Minuten bis man sich an und ausgezogen hatte und durch die Schleusen war, was aber auch abgestempelt wurde
Also studieren muss man nicht wirklich unbedingt, aber es ist schwer einfach mal so reinzukommen. Natürlich muss man vorsichtig sein, denn so eine Waferscheibe kostet schon ne Kleinigkeit...
ich dachte, das ist der EMO-Eindriglingsalarm-Knopf. Hätt ja sein können, dass die da Schlange stehen, um sich mit den Wafersägen alle möglichen Muster in den Körper zu ritzen.
Wie gesagt, nur rein interessehalber - ganz ohne sexistischen Hintergedanken