[08/07/2009] Belichtung (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Auf einem Wafer befinden sich normalerweise mehrere hunderte Mikroprozessoren. Zwecks besserer Übersicht werden im weiteren Verlauf aber nur einzelne funktionale Elemente betrachtet - Transistoren oder Teile davon. In einer CPU arbeiten Transistoren als Schaltelemente, die den Stromfluß steuern. Heutige Transistoren können so klein sein, dass 30 Millionen von ihnen auf eine Nadelspitze passen.