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[08/07/2009] Ätzen (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Die jetzt freigelegten Bereiche werden mittels Säure weggeätzt. Die unbelichteten Bereiche werden dagegen durch den Fotolack geschützt.
![[08/07/2009] Ätzen (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Die jetzt freigelegten Bereiche werden mittels Säure weggeätzt. Die unbelichteten Bereiche werden dagegen durch den Fotolack geschützt.](/screenshots/1280x1024/2009/07/13_04_etching_2.jpg)
