CPU-Fertigung bei Globalfoundries: Bilder aus dem Reinraum - Update: PCGH im Reinraum

Modul Fotolithografie mit automatisiertem Transportsystem an der Decke

Eingangsbereich Modul CMP/CU (Chemisch-mechanisches Polieren / Kupferbeschichtung)

Notausschalter eines Reinraumgerätes (EMO = emergency off)

Wartungstechniker (MT, maintenance technician) im Modul CMP / CU

Wartungstechniker (MT, maintenance technician) im Modul CMP / CU (2)

Reinraumgerät im Bereich CMP / CU

Abzugshaube für Wartungsarbeiten an Reinraumgeräten

Automatisiertes Transportsystem für Wafer

Reinraummitarbeiter (WFT, wafer fab technician) im Modul Fotolithografie

Eckhard Langer, GLOBALFOUNDRIES Center for Complex Analysis, an der DualBeamFIB („Zweistrahlfokussiertes Ionenstrahlmikroskop“)

Eckhard Langer, GLOBALFOUNDRIES Center for Complex Analysis, an der DualBeamFIB („Zweistrahlfokussiertes Ionenstrahlmikroskop“) (1)

Eckhard Langer, GLOBALFOUNDRIES Center for Complex Analysis, an der DualBeamFIB („Zweistrahlfokussiertes Ionenstrahlmikroskop“) (2)