[08/07/2009] Auftragen von Fotolack (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Eine weitere Schicht Fotolack wird aufgetragen, belichtet und an den belichteten Stellen wieder entfernt. Der Fotolack wird die Bereiche schützen, die nicht dotiert werden sollen.
![[08/07/2009] Auftragen von Fotolack (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Eine weitere Schicht Fotolack wird aufgetragen, belichtet und an den belichteten Stellen wieder entfernt. Der Fotolack wird die Bereiche schützen, die nicht dotiert werden sollen.](/screenshots/1280x1024/2009/07/16_05_ion-implantation_1.jpg)
