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[25/12/2023] Aluminiumnitrid leitet Wärme nur in großen Kristallen gut. Je nach Prozess und Schichtdicke kann es hier deutliche Unterschiede geben. TSMC arbeitet deshalb daran, in der Praxis näher an die Ideallinie ohne Defekte (Rot) heranzukommen.
![[25/12/2023] Aluminiumnitrid leitet Wärme nur in großen Kristallen gut. Je nach Prozess und Schichtdicke kann es hier deutliche Unterschiede geben. TSMC arbeitet deshalb daran, in der Praxis näher an die Ideallinie ohne Defekte (Rot) heranzukommen.](/screenshots/1280x1024/2023/12/TSMC-AlN-Film-Growth-Thermal-Conductivity-pcgh.jpg)
