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[19/05/2009] Im Modul Photolithography („Litho“) werden die Wafer mit einer lichtempfindlichen Lackschicht versehen und anschließend die Chipstrukturen mithilfe einer Chrom-Glas-Maske in den Fotolack belichtet.
![[19/05/2009] Im Modul Photolithography („Litho“) werden die Wafer mit einer lichtempfindlichen Lackschicht versehen und anschließend die Chipstrukturen mithilfe einer Chrom-Glas-Maske in den Fotolack belichtet.](/screenshots/1280x1024/2009/05/Globalfoundries-Reinraum-10.jpg)
