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      • Von Skysnake Lötkolbengott/-göttin
        Ähm...

        Ruyven, du HAST Streuung bei Röntgenstrahlen, und das nicht zu knapp

        Guckst du hier wenn du mir nicht glaubst: Röntgenstrahlung

        Und die Eindringtiefe ist relevant, weil das eben entscheidend dafür ist, wie dick deine Maske sein muss. Du musst ja unterscheiden können ob jetzt da belichtet werden soll oder nicht. Wenn die Maske zu dünn ist, belichtest du halt trotzdem... Das Energiefenster muss also recht breit sein, welches unterscheidet, ob nun belichtet wird oder nicht.
      • Von ruyven_macaran Trockeneisprofi (m/w)
        Eindringtiefe ist egal, du arbeitest ja am Lack und der ist nur oben.
        Und Steuung? Gibts nicht.
        Das ist ja gerade das tolle an Röntgenstrahlung. Du kannst wieder mit Wellenlängen arbeiten, die um 2 Größenordnungen kleiner sind, als die zu fertigenden Strukturen. Dementsprechend gilt es keine Probleme mit Spalt-Beugung oder gar komplexe Interferenzmuster zu beachten. Man kann direkt ein Abbild der Maske erzeugen, dass genau so scharf ist, wie die Fokussierung der Strahlungsquelle - und für diese Fokussierung gelten genau die gleichen Prinzipien, wie bei einem medizinischen Röntgengerät. Man muss zwar präziser arbeiten, aber man bleibt in Größenordnungen, in denen Wellencharakteristiken einfach egal sind.
      • Von Skysnake Lötkolbengott/-göttin
        Nein das Problem ist die Eindringtiefe+Streuung. Das macht dir die Auflösung wieder kaputt.

        Du musst ja im Optimalfall bei Röntgen den Fall haben, dass du den Lack nur belichtest, wenn der STrahl ihn direkt trifft, jedwede Streuung aber nicht mehr ausreicht ihn zu belichten. Das wird ziemlich schwer werden, das für derart kleine STrukturen hin zu bekommen. Vor allem hast du eben auch das Problem mit den Masken. Die sind ja im Prinzip wieder Transparent...

        Mit Röntgenstrahlen handelst du dir da echt unglaublich viele neue Probleme ein. Ich kann absolut verstehen, warum man das nicht will. Da könnte man wirklich gleich auf Elektronenstrahlen gehen. Wäre wahrscheinlich sogar mit weniger Problemen an sich behaftet, bleibt nur die teure Quelle
      • Von ruyven_macaran Trockeneisprofi (m/w)
        Das Elektronenstrahlen zu (energie)aufwendig wären, ist klar. (Wobei ich eher das Entwicklungsrisiko denn das Endergebnis für limitierend halte. Schließlich kann man mit Elektronenstrahlen im Idealfall gleich eine ganze Reihe von Nodes überspringen und so die derzeitige Entwicklungsgeschwindigkeit auf Jahre hinaus halten, ohne noch einmal irgendwas investieren zu müssen. Das ist langfristig billiger, als der EUV-Zwischenschritt - aber man muss es halt en bloc bezahlen.)
        Aber Röntgen-Quellen in beliebiger Stärke (darunter auch welche, die nicht zu stark sind), bekommt du an jeder zweiten Ecke zu Preisen, die die durchschnittliche Fab vermutlich in der Woche für Einweghandschuhe und Haarnetze zahlen muss .
        Was sein könnte, ist das Auflösevermögen der Lacke (wo ich aber erwarten würde, dass es für höherenergetische Strahlung leichter ist, entsprechende Moleküle zu konzipieren, weil man eben auf einem kleineren Querschnitt genug Energie erhält), Fokussierung (unwahrscheinlich. Eine gewisse Fokussierung wird überall beim röntgen benötigt und der Rest ist nur eine Präzisionsfrage, während EUV offensichtlich vor prinzipiellen Problemen steht) und ggf. die Masken (Blei ist halt weich). Aber ich dachte, du wüsstest vielleicht eine Antwort, die über "könnte" hinaus geht
      • Von Skysnake Lötkolbengott/-göttin
        Und wie willst du die Strukturen erstellen?

        Also röntgen usw ist ziemlich banane. Zudem musst du aufpassen, wie hoch das Auflösungsvermögen der Lacke ist Ja das gibts ernsthaft auch da.

        Gerade mit so hochenergetischen Strahlen wie röntgen kann es sein, dass du nur eine zu grobe Auflösung erreichst, weil man zu viel Energie deponiert. Wir reden hier ja von Strukturen im ein bis knapp zweistelligen nm Bereich

        Insgesamt spielen da dann auch wieder die Mechanismen der Absorbtion rein. Je höher die Energien werden, desto hässlicher wird es...

        Problematisch ist dann auch, wie man denn überhaupt einen vernünftig fokusierten Röntgenstrahl bekommt. Das ist ja auch nicht trivial.

        Wenn du den Aufwand betreibst kannste wahrscheinlich gleich direkt kohärente Elektronenstrahlen nehmen und hast am Ende weniger Geschiss und halt pornöse Grundvorraussetzungen

        Über Geld reden wir dann aber lieber nicht mehr
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1082535
CPU
Intel baut angeblich erste 450-mm-Fabrik
Die Kollegen von xbitlabs.com wollen von Intel erfahren haben, dass der Halbleiter-Gigant an einer 450-mm-Fabrik baue. Ein zweites Modul soll in Fab D1X in Hillsboro (Oregon, USA) entstehen. Alleine für das Jahr 2013 sollen Baukosten in Höhe von zwei Milliarden US-Dollar veranschlagt werden.
http://www.pcgameshardware.de/CPU-Hardware-154106/News/Intel-baut-450-mm-Fabrik-1082535/
09.08.2013
http://www.pcgameshardware.de/screenshots/medium/2013/08/intel_fab_d1x-pcgh.jpg
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