[08/07/2009] Entfernen des Fotolackes (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Nach erfolgter Dotierung wird wiederum der verbleibende Fotolack entfernt. Zurück bleiben Strukturen, die teilweise Ionen, also Fremdatome enthalten (grün, man beachte die Farbvariationen). Damit sie grundlegenden Funktionselemente des Transistors fertiggestellt.
![[08/07/2009] Entfernen des Fotolackes (Maßstab: Transistorformat, ~50-200nm): Nach erfolgter Dotierung wird wiederum der verbleibende Fotolack entfernt. Zurück bleiben Strukturen, die teilweise Ionen, also Fremdatome enthalten (grün, man beachte die Farbvariationen). Damit sie grundlegenden Funktionselemente des Transistors fertiggestellt.](/screenshots/1280x1024/2009/07/18_05_ion-implantation_3.jpg)
